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电子级乙烯二胺四(亚甲基膦酸)(EDTMPA)

性质与用途:

电子级 EDTMPA 为白色结晶性粉末,具有很强的金属离子螯合能力。 在研磨、抛光、蚀刻等半导体加工过程中,可提高研磨效率和表面光滑度。 用于显示面板和 PCB 板的蚀刻工艺时,可减少毛刺并改善铜箔表面光洁度。

规格:

项目 指标
外观 白色结晶粉末
有效酸含量(以 EDTMPA 计)/%
≥96.0
单一重金属 /ppb
Can be customized according to customer needs
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