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电子级二乙烯三胺五(亚甲基膦酸)(DTPMPA)
性质与用途:
电子级 DTPMPA 对金属离子具有很强的螯合能力。 在研磨、抛光、蚀刻等半导体加工过程中,可提高研磨效率和表面光滑度。 用于显示面板和 PCB 板的蚀刻工艺时,可减少毛刺并提高铜箔表面光滑度。
规格:
项目
指标
外观
Brownish yellow or brownish red viscous liquid
有效含量/%
≥50.0
单一重金属 /ppb
Can be customized according to customer needs
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