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电子级 1-羟基乙叉-1,1-二膦酸（HEDP）

性质与用途：

电子级 HEDP 为电子级高纯产品，对金属离子具有很强的螯合能力。在研磨、抛光、蚀刻等半导体加工过程中，可提高研磨效率和表面光滑度。用于显示面板和 PCB 板的蚀刻工艺时，可减少毛刺并提高铜箔表面光滑度。

规格：

项目	指标
外观	无色至浅黄色透明液体
固含量/%	≥15.0
单一重金属 /ppb	Can be customized according to customer needs