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电子级氨三甲叉膦酸（ATMP）

性质与用途：

电子级 ATMP 为酸性液体，具有很强的金属离子螯合能力。在半导体加工的研磨、抛光、蚀刻等工艺中，可提高研磨效率和抛光程度。可用于显示面板及 PCB 板的蚀刻工艺，减少毛刺，从而改善铜箔表面光洁度。

规格：

项目	指标
外观	无色透明液体
有效含量（以 ATMP 计）/%	≥50.0
单一重金属 /ppb	Can be customized according to customer needs