性質與用途：

電子級 ATMP 為酸性液體，具有很強的金屬離子螯合能力。 在半導體加工的研磨、拋光、蝕刻等製程中，可提高研磨效率和拋光程度。 可用於顯示面板及 PCB 板的蝕刻製程，減少毛刺，從而改善銅箔表面光潔度。

規格：

項目	指標
外觀	無色透明液體
有效含量（以 ATMP 计）/%	≥50.0
單一重金屬 /ppb	Can be customized according to customer needs